Прошу прощения за глупый вопрос - если пастой ГОИ пластину полирнуть - ей станет совсем плохо с точки зрения грязи (по нормам солнечных батарей / низкотехнологичных МС)? Или потом в HF стравить верхний слой и все ок?
Если ГОИ нельзя, то чем можно, чтобы хотябы до 7 класса (~0.5мкм) отполировать и не загрязнить?

Скорее всего ГОИ не получится, лучше сразу алмазные пасты, наверное последовательно снижая зернистость.
И станок высокооборотный.
Кремний же очень твердый, но хрупкий на излом.

В идеале, моют деионизированой водой, если не ошибаюсь, вода с удельным сопрот. то ли еденицы, то ли десятки. Мом/м или см, уже не вспомнить.
Не знаю о пластинах, но монокристаллы-затравки, кажется травили (особо не обращал внимания).
В любом случае если травить, то мыть ведь потом надо.
УЗ тоже должен помочь.

Хмм, сегодня попробую... Быть может все гораздо хуже чем я думал )

Карбид кремния (микропорошки) на воде. Подложка- стекло или ситалл. Моют растворами по кличке - “пиранья”. Один для удаления органических загрязнений, другой для неорганических. По памяти, один - NH3+H2O2 , второй - HCL+ H2O2. Если надо, уточню. При необходимости (удаление поврежденного полировкой слоя), поверхность травят плазмой (обычно аргон). С ультразвуком связываться не советую, от малейшей трещины пластина разваливается на куски.

Да, действительно, ГОИ почти не берет кремний ) 5 минут работы на 1см^2 - а зеркала еще нет, но визуально небольшой прогрес конечно виден. В микроскопе - те же бугры по 15-25 микрон, видимо только чуть подравнялись "вершины".

Я как то и не подумал, что у стали/меди которые раньше полировал успешно - твердость по моосу 3-4, а у кремния то 7 :-)

Придется ехать за подсказанными абразивами, спасибо.

Насчет Пираньи - а пластины с заводской полировкой им не обрабатывают? Из упаковки - и в работу?

По договоренности с поставщиком. Мы получаем в негерметичных контейнерах, затем вейферы разрезаются (грязный процесс). Поэтому сами проводим полный цикл очистки (не только химия).

А попробуйте-ка полировать пастой ГОИ оргстекло - достаточно мягкий материал. Удивитесь еще больше.
Полировать алмазной пастой, отмывать деионизованной водой, травить плавиковой кислотой.