Полировка пластин, монокристалл Si Опции

[BarsMonster]

Прошу прощения за глупый вопрос - если пастой ГОИ пластину полирнуть - ей станет совсем плохо с точки зрения грязи (по нормам солнечных батарей / низкотехнологичных МС)? Или потом в HF стравить верхний слой и все ок?
Если ГОИ нельзя, то чем можно, чтобы хотябы до 7 класса (~0.5мкм) отполировать и не загрязнить?

[SNGNL]

Если ГОИ нельзя, то чем можно, чтобы хотябы до 7 класса (~0.5мкм) отполировать и не загрязнить?

Карбид кремния (микропорошки) на воде. Подложка- стекло или ситалл. Моют растворами по кличке - “пиранья”. Один для удаления органических загрязнений, другой для неорганических. По памяти, один - NH3+H2O2 , второй - HCL+ H2O2. Если надо, уточню. При необходимости (удаление поврежденного полировкой слоя), поверхность травят плазмой (обычно аргон). С ультразвуком связываться не советую, от малейшей трещины пластина разваливается на куски.