Полировка пластин, монокристалл Si Опции

[BarsMonster]

Прошу прощения за глупый вопрос - если пастой ГОИ пластину полирнуть - ей станет совсем плохо с точки зрения грязи (по нормам солнечных батарей / низкотехнологичных МС)? Или потом в HF стравить верхний слой и все ок?
Если ГОИ нельзя, то чем можно, чтобы хотябы до 7 класса (~0.5мкм) отполировать и не загрязнить?

[_Vladimir_]

Прошу прощения за глупый вопрос - если пастой ГОИ пластину полирнуть - ей станет совсем плохо с точки зрения грязи (по нормам солнечных батарей / низкотехнологичных МС)? Или потом в HF стравить верхний слой и все ок?
Если ГОИ нельзя, то чем можно, чтобы хотя бы до 7 класса (~0.5мкм) отполировать и не загрязнить?

Скорее всего ГОИ не получится, лучше сразу алмазные пасты, наверное последовательно снижая зернистость.
И станок высокооборотный.
Кремний же очень твердый, но хрупкий на излом.

В идеале, моют деионизированой водой, если не ошибаюсь, вода с удельным сопрот. то ли еденицы, то ли десятки. Мом/м или см, уже не вспомнить.
Не знаю о пластинах, но монокристаллы-затравки, кажется травили (особо не обращал внимания).
В любом случае если травить, то мыть ведь потом надо.
УЗ тоже должен помочь.

[BarsMonster]

Скорее всего ГОИ не получится

Хмм, сегодня попробую... Быть может все гораздо хуже чем я думал )

[BarsMonster]

Хмм, сегодня попробую... Быть может все гораздо хуже чем я думал )

Да, действительно, ГОИ почти не берет кремний ) 5 минут работы на 1см^2 - а зеркала еще нет, но визуально небольшой прогрес конечно виден. В микроскопе - те же бугры по 15-25 микрон, видимо только чуть подравнялись "вершины".

Я как то и не подумал, что у стали/меди которые раньше полировал успешно - твердость по моосу 3-4, а у кремния то 7 :-)

Придется ехать за подсказанными абразивами, спасибо.

Насчет Пираньи - а пластины с заводской полировкой им не обрабатывают? Из упаковки - и в работу?