ASIC дома Опции

[BarsMonster]

Теперь вероятно будет понятно, почему я тут ходил и доставал всех своими вопросами ;-)

Первая статья о моём проекте на хабре - http://habrahabr.ru/blogs/DIY/118534/
Форум проекта - http://3.14.by/forum/viewforum.php?f=11

На данный момент, меньше всего информации и/или идей по:

1) Выделить наиболее критичные по чистоте операции в CMOS процессе с металлическим затвором.
Я правильно понимаю, что после того как металл затвора положили - дальше хоть трава не расти? :-)
И в целом - основная проблема по чистоте - в накоплении носителей заряда в дефектах под и над затворным диэлектриком?

2) По прежнему ищу способ металлизации без вакуума.

[BarsMonster]

Или я где-то ошибаюсь, или это слишком хорошо чтобы быть правдой:

http://www.ampika.ru/oborudovanie.html?id=8670

0,13 Па за пол тыщи $, а при 0.13 Па если я нигде не путаю - средняя длина пробега >10см => испарение металла / sputtering deposition должно работать... ?

Для "кухни" я бы посоветовал подумать про многотактную динамическую логику и n-МОП технологию с кольцевыми транзисторами - без толстого окисла, и с "затворными" охранными кольцами. В этом случае можно заказать на заводе пластины со сплошным готовым затвором (и подзатворным окислом), и понадобятся только 3 маски: стоки-истоки, контактные окна, разводка.

К сожалению, это слишком экзотично, проектировать топологию относительно сложно + существующие дизайны нельзя использовать (например 4004 ;-) )
PS. Интересно, а маски КР580ВМ80А где-нить достать можно? )

[DS]

Или я где-то ошибаюсь, или это слишком хорошо чтобы быть правдой:

Такие насосы (и паромасляные) в огромных количествах в НИИ валяются в подвалах. Цена обычно бутылка коньяку. Придется, конечно перебрать все аккуратно. Я месяц назад по причине подготовки к переезду в другое здание подарил соседям валявшийся под столом ВМН-500 в заводской смазке, правда без инвертора. Там, где есть вакуумная техника, старые насосы не представляют никакой большой ценности, сейчас в моде Varianы размером с банку тушенки.
При наличии жидкого азота можно с помощью форвакуумного насоса откачиваться до 10e-3 торр.

[BarsMonster]

Там, где есть вакуумная техника, старые насосы не представляют никакой большой ценности, сейчас в моде Varianы размером с банку тушенки.

Эт понятно, ни у кого нет времени возиться ) Да и я не особо дружу с механикой, чтобы засучив рукава взяться за приведение в рабочее состояние старого насоса (которые зачастую еще и весят ппц сколько - одна перевозка по Москве 10% цены нового ))) )

Потому вероятно буду пробовать с упомянутой выше моделью - на форуме вакуумщиков говорят что напыление алюминия получится, если он действительно до 0.13Па откачивает.
Проблема пока остается только в вакуумной камере.

[alexunder]

Проблема пока остается только в вакуумной камере.

Насос, про который вы спрашивали сгодится. Вакуумные зап. части конечно придется либо достать на каком-нибудь заводе, либо купить...
В принципе, как сказал DS, на такое давление и вправду сгодится простая камера из стекла или оргстекла. Те присопособы для SEM обычно имеют пластиковый корпус.

Насчет самодельной печи смотрите ПДФку прикрепленную. Извините за никудышное оформление - из меня дизайнер никакущий)
Максимальный нагрев - 700 С. Для ваших температур используют похожий дизайн (как-то приходилось разбирать промышленную печь, работающую до 1000С), но опять-таки, я не уверен что это лучше чем обычные ТЭНы.

Сообщение отредактировал alexunder - May 8 2011, 17:15

Прикрепленные файлы

 rta_schematic.pdf ( 726.01 килобайт ) Кол-во скачиваний: 95

 

[BarsMonster]

Насчет самодельной печи смотрите ПДФку прикрепленную. Извините за никудышное оформление - из меня дизайнер никакущий)
Максимальный нагрев - 700 С. Для ваших температур используют похожий дизайн (как-то приходилось разбирать промышленную печь, работающую до 1000С), но опять-таки, я не уверен что это лучше чем обычные ТЭНы.

Спасибо за схему, выглядит обнадеживающе... Поначалу я наивно думал, что смогу лампами нагревать вольфрамовую фольгу, и все )

Но оказалось, металлов которые при 900-1000 не реагируют с кислородом/водой нет (даже платина окисляется. Есть конечно золото, но оно уже плавится ) )
Потому между лампами и образцем остается ставить унылое кварцевое стекло.
По началу планирую лампы отдельно не охлаждать - они из кварца/керамики, от 300-600С не должны развалиться, а от перегрева нити накала должен спасти термостат.

Вопрос измерения температуры - все еще больной вопрос: датчики выше 500С чертовски редкая (и дорогая) штука оказалась.
Будем надеятся мой коварный план использовать обычную галогенку как датчик температуры прокатит, главное чтобы температура образца и лампы не сильно отличались :-)

[alexunder]

BarsMonster,
я там глупость написал в PDF - лампа не спиралевидная(!), там несколько галогенок парраллено стоят. Прошу извенить.

Потому между лампами и образцем остается ставить унылое кварцевое стекло.

Да, причем лучше именно кварц, т.к. он прозрачнее в ближнем ИК диапазоне чем стекло.

Вопрос измерения температуры - все еще больной вопрос: датчики выше 500С чертовски редкая (и дорогая) штука оказалась.
Будем надеятся мой коварный план использовать обычную галогенку как датчик температуры прокатит, главное чтобы температура образца и лампы не сильно отличались :-)

У меня когда-то был китайский M890G, судя по х-кам термопары он мог работать до 1000 С. Я никогда не проверял, но, если не ошибаюсь, для термопар такого типа это вполне нормально. Точность +-10 градусов для вас сгодится.

[BarsMonster]

У меня когда-то был китайский M890G, судя по х-кам термопары он мог работать до 1000 С. Я никогда не проверял, но, если не ошибаюсь, для термопар такого типа это вполне нормально. Точность +-10 градусов для вас сгодится.

Это он с радостью покажет 1000C на абстрактной термопаре К-типа, а та термопара что в комплекте - имеет пластиковые детали, и даже 300С ей не пережить...
Таких-то у меня пара есть...