Есть еще вариант с емкостной связью:
3-D Capacitive Interconnections for Wafer-Level and Die-Level Assembly
... They show a maximum communication bandwidth of 1.23 Gb/s, leading to a throughput per area of 19 Mb/s/um2 with an energy consumption of 0.14 mW/Gb/s ...
Эскизы прикрепленных изображений