Пытаюсь сформировать структуру МОП-транзистора с trench-канавками с помощью приложения Athena в Silvaco TCAD 2016. Возникает ошибка "минимальное значение полигона сетки меньше 0.001 мкм" и дальнейшее моделирование структуры прерывается. Какие пути устранения ошибки посоветуете? Какими средствами TCAD для оптимизации сетки Вы пользуетесь?
|