Как определить разрешающую способность фотолитографии? Опции

[EUrry]

Приветствую, коллеги!
Интересует стандартизованный способ, описание чертежа/эскиза фотошаблона-теста, если таковые имеются. Интересующая область - микроэлектроника, но если что-то подобное имеется в технологии печатных плат - не побрезгую посмотреть для аналогии.
"Своим" придуманным способом сделать фотошаблон-тест всегда можно. Покопавшись в Интернете, как минимум три направления выделил:
1) Разрешающая способность фоторезиста определяется числом линий равной толщины, которые могут быть получены без слияния на 1 мм поверхности подложки в результате проведения процесса фотолитографии (из какого-то пособия);
2) Разрешающую способность (минимальную ширину воспроизводимого элемента) определяют путем получения контактным способом изображения фотошаблона-теста, контролируя геометрическую форму и размеры элементов (ГОСТ Р 52250 - Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. ОТУ);
3) Использование миры для проверки разрешающей способности объективов.
Спасибо!