Помощь - Поиск - Пользователи - Календарь
Полная версия этой страницы: Spin-on dopants & glass
Форум разработчиков электроники ELECTRONIX.ru > Cистемный уровень проектирования > Разработка цифровых, аналоговых, аналого-цифровых ИС
BarsMonster
Подскажите,
Есть ли отечественные производители spin-on dopants & glass?
Или зарубежные в крайнем случае...

Положительный опыт работы видел только с Emulsitone - но они похоже уже умерли.

Как по-русски называется Spin-on dopant и Spin-on glass?
Пацаев
Похоже, что у Honeywell:

https://www51.honeywell.com/sm/em/common/do...n-on_dopant.pdf
BarsMonster
Цитата(Пацаев @ Jul 22 2012, 09:46) *


Honeywell это да, но от них ответа мне пока добиться не удалось - и это они еще не знают, что я физическое лицо....
Пацаев
Интересно, насколько отличаются по ценам обычные источники примести и эти самые spin-on dopants, неужели большая разница? А смысл, насколько понимаю, в том, что при spin-on dopants слои получаются более равномерные и моделировать их профиль проще?
BarsMonster
Цитата(Пацаев @ Jul 24 2012, 05:56) *
Интересно, насколько отличаются по ценам обычные источники примести и эти самые spin-on dopants, неужели большая разница? А смысл, насколько понимаю, в том, что при spin-on dopants слои получаются более равномерные и моделировать их профиль проще?

Spin-on dopants - по цене расходников на пластину - не дешевле, даже скорее наоборот (но это копейки).

По сравнению с ионной имплантацией - не нужно дорогое оборудование (достаточно spin coater-а и печки), но само собой ионную имплантацию ими заменить нельзя.
По сравнению с дифузионным легированием из газовой среды - как раз равномерность и повторяемость хорошие, расходники менее токсичны. По цене - не уверен что тут большая разница выйдет.

Поскольку мне работать нужно в условиях колхоза - это единственный относительно реальный путь.
sherr
Цитата(BarsMonster @ Jul 24 2012, 08:15) *
Поскольку мне работать нужно в условиях колхоза - это единственный относительно реальный путь.

Может в условиях колхоза лучше начать с самодельного состава - например модифицировать фосфатными группами какой- либо кремнийорганический лак (это так, навскидку), очень аккуратно wacko.gif нанести на центрифуге и выжечь в печке ...
Органика выгорит, кремний с фосфором дадут относительно легкоплавкое стекло, из которого пойдёт диффузия .Подобным же образом,
наверное, можно поступить и с бором, но там чуть сложнее ...
BarsMonster
Цитата(sherr @ Aug 7 2012, 21:22) *
Может в условиях колхоза лучше начать с самодельного состава - например модифицировать фосфатными группами какой- либо кремнийорганический лак (это так, навскидку), очень аккуратно wacko.gif нанести на центрифуге и выжечь в печке ...
Органика выгорит, кремний с фосфором дадут относительно легкоплавкое стекло, из которого пойдёт диффузия .Подобным же образом,
наверное, можно поступить и с бором, но там чуть сложнее ...


Боюсь, это слишком широкое и не сильно интересное поле для деятельности :-)
На черный день у меня всегда остается BBr3 и POCl3.
sherr
Цитата(BarsMonster @ Aug 8 2012, 12:22) *
Боюсь, это слишком широкое и не сильно интересное поле для деятельности :-)
На черный день у меня всегда остается BBr3 и POCl3.

Ну каждый судит со своей колокольни, а у меня диплом химика-органика и три года работы на заводе, где делали фоторезисты -
вот там и пластин было море, и печки, и центрифуги ... чего и вам желаю (оффтоп) rolleyes.gif
Для просмотра полной версии этой страницы, пожалуйста, пройдите по ссылке.
Invision Power Board © 2001-2025 Invision Power Services, Inc.