Цитата(Пацаев @ Jul 24 2012, 05:56)

Интересно, насколько отличаются по ценам обычные источники примести и эти самые spin-on dopants, неужели большая разница? А смысл, насколько понимаю, в том, что при spin-on dopants слои получаются более равномерные и моделировать их профиль проще?
Spin-on dopants - по цене расходников на пластину - не дешевле, даже скорее наоборот (но это копейки).
По сравнению с ионной имплантацией - не нужно дорогое оборудование (достаточно spin coater-а и печки), но само собой ионную имплантацию ими заменить нельзя.
По сравнению с дифузионным легированием из газовой среды - как раз равномерность и повторяемость хорошие, расходники менее токсичны. По цене - не уверен что тут большая разница выйдет.
Поскольку мне работать нужно в условиях колхоза - это единственный относительно реальный путь.