Цитата(spartakhamp @ Mar 15 2011, 16:43)

Амплитуда колебаний до 15 мкм, частота колебаний 18 кГц, требуемая точность +/- 1 мкм хотя бы.
Могу предложить попробовать метод аналогичный конденсаторному микрофону.
Над торцом излучателя закрепляете металлическую пластину такого же диаметра как и излучатель.
Измеряете емкость между пластиной и излучателем, по емкости и площади пластины рассчитываете точное расстояние между пластиной и излучателем.
Через высокоомный резистор подаёте постоянное напряжение смещения (побольше).
Вольтметром/осциллографом меряете амплитуду переменного напряжения и пересчитываете в амплитуду механических колебаний.