При проектировании скоростного двухкоординатного линейного двигателя появилась идея контролировать момент "всплывания" каждой воздушной подушки над плитой. Невсплывание одной из подушек приводит к задирам шлифованной поверхностей , после чего двигатель можно выбрасывать. Это основная причина смерти подобных конструкций. Воздушный зазор между плитой и подушкой несколько микрон. Есть идея мерить емкость или момент замыкания между подушкой и плитой. Может кто подскажет другие варианты.

Другой способ наверное оптикой. Что-то типа системы из CD-ROM (DVD-ROM).

А по расходу воздуха это нельзя определить?

Промышленные датчики расстояния, например фирмы SICK.

Выбрасывание двигателя по причине задира это круто.
Конструкция должна обеспечивать надёжную воздушную подушку,
тогда не нужен будет сложный процесс измерения расстояния до статора.
Фрезеруйте замкнутые канавки вокруг электромагнитов,
глубиной 0,2 - 0,3мм, ставьте калиброванные жиклёры и всё образуется.
При соответствующей плоскостности составных частей.

Это не классический линейно-шаговый мотор с магнитопроводами. Мотор типа coreless у которого катушки отделены от опор.
На каждой подушке есть свой регулируемый натекатель . Необходимо уменьшить расход воздуха при гарантированном всплывании всех опор. Вариант измерения потока воздуха рассматривался, но превышение порога по потоку не значит что подушка всплыла.

Емкостной датчик, лучще дифференциальный. Если надо очень быстро и точно (для обратной связи динамического подвеса с нанометровой точностью)- оптический интерферометрический. Жиклера неплохо иметь подстраиваемые, с моторчиками. В принципе, как грубый датчик всплытия можно использовать расходомеры воздуха- при всплытии расход ступенчато увеличится. Но нужна плавная регулировка давления, иначе ступеньку легко пропустить.

eddy current - вихретоковый сенсор

Насколько я понял, двигатель с постоянными магнитами.
Для таких электродвигателей величина зазора не слишком критична,
увеличьте зазор, все дела.
В потивном случае, без ОС и тестовых перемещений никак.