Помощь - Поиск - Пользователи - Календарь
Полная версия этой страницы: Измерение температуры чип-компонента
Форум разработчиков электроники ELECTRONIX.ru > Аналоговая и цифровая техника, прикладная электроника > Метрология, датчики, измерительная техника
EUrry
Задача измерить температуру на поверхности чип-компонента габаритом порядка 1-2 мм. Диапазон температур 0-150 °С, точность не хуже ±1 °С, время измерения не более 5-10 с. Датчик должен достаточно легко и быстро приставляться к объекту и убираться от него. Был вариант использовать термопару (типа китайского шарика), которая приставляется к объекту, но при этом тепловой контакт с объектом получается точечный и, кроме того, т. к. объект находится не в замкнутой камере, то и его поверхность и термодатчик постоянно обдувают конвекционные потоки. Да и гарантированное время установления показаний датчиков находится в районе 20-30 с. ИМХО, вариант вообще никакой, но имеются оптимисты. Всё-таки склоняюсь к замкнутой тепловой миникамере, хотя время при этом, конечно не 10 с, но против природы не попрешь.
Но т. к. в этой теме не силен, то может и зря так пессимистично отношусь к таким идеям, может всё-таки что-то существует? Естественно, цена вопроса чрезвычайно важна и супердорогие решения, удовлетворяющие всем капризам неприемлемы, уж лучше подождать по времени измерения в минитермокамере.
Vishv
В свое время мы изобретал похожие ( по изложенным требованиям) датчики на базе p-n перехода.
bb-offtopic.gif
Работали в рамках НТТМ (если кто помнит было такое поветрие).
Метода простая - в качестве заготовки использовали пластину-спутник с сформированным p-n переходом (большой диод).
Далее с обоих сторон пылили то-ли медь, то-ли никель (давно это было, уже и не помню), скрайбировали в размер 0,7х0,7.
На первых образцах выводы припаивали, потом стали варить ультразвуком.
Датчики получались с приличным быстродействием. Схема измерения - прямое падение на p-n переходе при запитке стабильным током.
Конечно все это было возможным потому что мы сами работали там где микросхемы делались rolleyes.gif. Конечно под нас никто техпроцесс не настраивал, просто мы использовали стандартные операции.
конец bb-offtopic.gif
В вашем случае можно попробовать изобрести что-нибудь на базе бескорпусных диодов (применяются в ГИС).
Ну или поискать подходящих знакомых например в Воронеже.
maugli
Может попробовать Thermopile Infrared Detectors and Sensors от PerkinElmer ?
SNGNL
MAXIM выпускает датчики в виде чипов. Диапазон температур, габариты и точность измерения подходят. Выход цифровой, можно заказать образцы. Это навскидку, марку (которую использовал) могу уточнить через пару дней, если нужно.
Другой вариант, RTD - ТH100, платина, пленочный на керамике 2х2мм, сверху герметизация стеклом, точность ±0,12 °С. Керамическую подложку, при необходимости, можно аккуратно сточить до 0,1мм.
EUrry
Датчики в виде пленочных чипов на керамике я видел, но проблема в том, что, как минимум, объект по размерам сравним с датчиком (т. е. будет забирать много тепла) и всё те же конвекционные потоки всё портят. Кроме того, датчик не привязан к конкретному компоненту, а должен использоваться, как съемный зонд, что еще ужесточает требования к тому же тепловому контакту, например. И в этом случае, ИМХО, бескорпусного диода надолго не хватит.
rx3apf
Цитата(EUrry @ Feb 5 2010, 21:42) *
Датчики в виде пленочных чипов на керамике я видел, но проблема в том, что, как минимум, объект по размерам сравним с датчиком (т. е. будет забирать много тепла) и всё те же конвекционные потоки всё портят.

Может быть, подумать на тему бесконтактных IR-термометров ? Правда, может быть, потребуется красить корпус компонента, если он не обладает должной степенью черноты. Но это просто...
SNGNL
Тогда накладку на объект и пирометр в виде зонда.
EUrry
Цитата(rx3apf @ Feb 5 2010, 21:57) *
Может быть, подумать на тему бесконтактных IR-термометров ? Правда, может быть, потребуется красить корпус компонента, если он не обладает должной степенью черноты. Но это просто...

Красить - не вариант. Кроме того, нужно считывать температуру именно компонента, а это еще одна проблема извлечь ее из распределения теплового поля на пирометре.
rx3apf
Цитата(EUrry @ Feb 5 2010, 22:16) *
Красить - не вариант.

А чего сложного ? Фломастером чуть-чуть...
Цитата
Кроме того, нужно считывать температуру именно компонента, а это еще одна проблема извлечь ее из распределения теплового поля на пирометре.

Так использовать пирометр с малым углом. 10-градусного хватит ? Модуль на MX90614 стоит около $50, сам чип что-то в районе $40 (штучно).
EUrry
Цитата(rx3apf @ Feb 5 2010, 22:21) *
А чего сложного ? Фломастером чуть-чуть...

Нельзя. laughing.gif
Цитата
Так использовать пирометр с малым углом. 10-градусного хватит ? Модуль на MX90614 стоит около $50, сам чип что-то в районе $40 (штучно).

А что это: MX90614? Что-то не гуглится.
rx3apf
Цитата(EUrry @ Feb 5 2010, 22:29) *
Нельзя. laughing.gif

А при контактном способе, боюсь, все равно придется термопроводящим материалом смазывать.

Цитата
А что это: MX90614? Что-то не гуглится.

Пардон, MLX90614, www.melexis.com
_Pasha
Цитата(EUrry @ Feb 5 2010, 23:29) *
А что это: MX90614? Что-то не гуглится.

MLX90614
EUrry
Цитата(rx3apf @ Feb 5 2010, 22:39) *
А при контактном способе, боюсь, все равно придется термопроводящим материалом смазывать.

Так я с самого начала и отвергаю этот вариант. А вот за вариант с указанным Вами пирометром, спасибо, довольно интересно, надо проработать. Как-то привязались к термопарам и термометрам сопротивления, а это даже не встречали.
jam
Цитата(EUrry @ Feb 5 2010, 22:16) *
Красить - не вариант. Кроме того, нужно считывать температуру именно компонента, а это еще одна проблема извлечь ее из распределения теплового поля на пирометре.

Красить ничего не надо - ему приблизительно всё-равно какой материал. Я делал так - к пирометру к его входной оптике сделал из медной фольги конусовидную трубочку, которую приставлял к детальке. Но. оказалось , что нужно учитывать и температуру фольги . Как-то это работало, но с калибровкой я не справился.
rx3apf
Цитата(jam @ Feb 5 2010, 23:34) *
Красить ничего не надо - ему приблизительно всё-равно какой материал.

Ни фига подобного. Типично требование к черноте - не хуже 0.95, о чем говорится в инструкциях к бесконтактным термометрам. В даташитах на датчики это тоже есть. Ну и по факту - термометры категорически не работают по неокрашенной поверхности водопроводных труб (оцинкованных). По краске любого цвета - работают. Металлическая пластина - чудесно отражает, при этом измерять ее собственную температуру невозможно.
Цитата
Я делал так - к пирометру к его входной оптике сделал из медной фольги конусовидную трубочку, которую приставлял к детальке. Но. оказалось , что нужно учитывать и температуру фольги . Как-то это работало, но с калибровкой я не справился.

Я пробовал делать диафрагму из фольги на термометр с апертурой этак в полдюйма - неработоспособно. Но там и до линзы было далеко, да и сам датчик был широкоугольный. С 10-градусным, полагаю, проблем будет меньше. Но по поверхности металла - ничего хорошего не получится. По керамике и пластику - почти наверняка будет работать. По защитному лаку на SMD-резистора, к примеру - не знаю и даже предположить не могу.
SNGNL
Цитата(maugli @ Feb 5 2010, 22:33) *
Может попробовать Thermopile Infrared Detectors and Sensors от PerkinElmer ?

datasheet не смотрели?

Цитата(rx3apf @ Feb 6 2010, 00:55) *
Я пробовал делать диафрагму из фольги на термометр с апертурой этак в полдюйма - неработоспособно.

Неудивительно, она сама излучает.
vvs157
Цитата(rx3apf @ Feb 5 2010, 23:55) *
Ни фига подобного. Типично требование к черноте - не хуже 0.95, о чем говорится в инструкциях к бесконтактным термометрам. В даташитах на датчики это тоже есть. Ну и по факту - термометры категорически не работают по неокрашенной поверхности водопроводных труб (оцинкованных)
Практически все диэлетрики на длине ~10 мкм имеют одинаковые коэффициенты излучения - около 0.95. Поэтому по ним прирометр дает правильные показанаия. У многих пирометров есть переключатель коэффициента излучения, что позволяет несколько улучшить точность при работе с металлическими поверхностями. У цинка этот коэффициент 0.1.
rx3apf
Цитата(SNGNL @ Feb 6 2010, 01:08) *
Неудивительно, она сама излучает.

Тем не менее, измерить температуру гладкой алюминиевой фольги тем термометром было совершенно невозможно, равно как и температуру оцинкованной трубы. А вот если фольгу зачернить - вот тут совершенно без проблем. Но диафрагму я, естественно, ничем не покрывал. А сквозь дырку в пару миллиметров термометр ничего не увидел...

Цитата(vvs157 @ Feb 6 2010, 01:27) *
Практически все диэлетрики на длине ~10 мкм имеют одинаковые коэффициенты излучения - около 0.95.

Как на счет полиэтилена, из которого делают линзы пиродатчиков ? А окись магния, с ее коэффициентом 0.2 ?
jam
Цитата(rx3apf @ Feb 5 2010, 23:55) *
Ни фига подобного. Типично требование к черноте - не хуже 0.95, о чем говорится в инструкциях к бесконтактным термометрам. В даташитах на датчики это тоже есть. Ну и по факту - термометры категорически не работают по неокрашенной поверхности водопроводных труб (оцинкованных). По краске любого цвета - работают. Металлическая пластина - чудесно отражает, при этом измерять ее собственную температуру невозможно.

металлы конечно отражают - поэтому я и сделал трубочку из меди, пирометру при этом кроме меди и детальки ничего не видно.
Цитата
Я пробовал делать диафрагму из фольги на термометр с апертурой этак в полдюйма - неработоспособно. Но там и до линзы было далеко, да и сам датчик был широкоугольный. С 10-градусным, полагаю, проблем будет меньше. Но по поверхности металла - ничего хорошего не получится. По керамике и пластику - почти наверняка будет работать. По защитному лаку на SMD-резистора, к примеру - не знаю и даже предположить не могу.

У меня пирометр 1:50 (1.2 градуса).

Цитата(rx3apf @ Feb 6 2010, 01:50) *
Как на счет полиэтилена, из которого делают линзы пиродатчиков ? А окись магния, с ее коэффициентом 0.2 ?

Вобщето линзы делают из ZnSe , из германия или кремния.
Может этот подойдёт:
http://www.vebion.ru/catalog/metricaldevic...6/696_9636.html
Tanya
Цитата(jam @ Feb 5 2010, 23:34) *
Красить ничего не надо - ему приблизительно всё-равно какой материал. Я делал так - к пирометру к его входной оптике сделал из медной фольги конусовидную трубочку, которую приставлял к детальке. Но. оказалось , что нужно учитывать и температуру фольги . Как-то это работало, но с калибровкой я не справился.

В какую сторону рупор глядел?

Цитата(EUrry @ Feb 5 2010, 20:08) *
Задача измерить температуру на поверхности чип-компонента габаритом порядка 1-2 мм.

Не очень понятно, что Вам нужно. Один раз на одной плате, или установку, которая много плат много дней... И уж совсем непонятно, что такое температура поверхности...
EUrry
Цитата(Tanya @ Feb 6 2010, 08:11) *
Не очень понятно, что Вам нужно. Один раз на одной плате, или установку, которая много плат много дней...

Второе - много раз и много дней.
Цитата
И уж совсем непонятно, что такое температура поверхности...

Это всё идет от того, что температуру компонента можно измерить только на его поверхности, приложив к ней какой-либо датчик.
Tanya
Цитата(EUrry @ Feb 6 2010, 11:18) *
Второе - много раз и много дней.

Это всё идет от того, что температуру компонента можно измерить только на его поверхности, приложив к ней какой-либо датчик.


Как только датчик приложите - так сразу температура и изменится вслед за изменением теплообмена...
И даже радиационно-пирометрические методы детектор на объект фокусируют.
А температуру хотите измерять в скольких точках?
EUrry
Цитата(Tanya @ Feb 6 2010, 12:46) *
Как только датчик приложите - так сразу температура и изменится вслед за изменением теплообмена...

Так почему и отрицаю данный подход. Спросил так, на всякий случай, что думают спецы, работающие с подобными проблемами.
Цитата
А температуру хотите измерять в скольких точках?

Ну, лучше наверное в нескольких точках измерять, дабы знать, когда компонент наиболее полно нагреется до требуемой температуры, но я слабо себе представляю несколько зондов на чипе, например, типоразмером 0603, или еще хуже 0402, хотя может просто не сталкивался с современными достижениями.
Tanya
Цитата(EUrry @ Feb 6 2010, 13:33) *
Так почему и отрицаю данный подход. Спросил так, на всякий случай, что думают спецы, работающие с подобными проблемами.

Ну, лучше наверное в нескольких точках измерять, дабы знать, когда компонент наиболее полно нагреется до требуемой температуры, но я слабо себе представляю несколько зондов на чипе, например, типоразмером 0603, или еще хуже 0402, хотя может просто не сталкивался с современными достижениями.

Если можно дырочку снизу просверлить, то туда можно засовывать термопару к подложке. С силиконовой капелькой.
Можно еще дорожку от элемента до места с известной температурой использовать как часть термопары. Еще два щупа константановых. Только нужно питание убирать...
Возможны и более сложные варианты - измеряем температуру снизу, прикладываем на смазке поверхность с известной температурой. Если температура совпадет, то внизу (или рядом) температура не будет меняться.
В принципе, возможно и радиационным методом методом измерять, только для каждого элемента нужно будет градуировать по его излучательной способности (степени черноты).
EUrry
To Tanya:
Смазывать компонент ничем нельзя, т. к. отмывать потом надо будет, а это неприемлемо.

А вот при радиационном методе всё-таки надо калибровать на каждый цвет? Я как-то никогда не встречался с пирометрами, а по всяким Fluke посмотреть, так у них как-будто без разницы на это дело. Гуглю "принцип измерения пирометров" - везде один и тот же текст. Какие-то многоспектральные пирометры есть, судя из этого текста, и у меня сложились догадки, что это они и обеспечивает слабую зависимость от излучающей способности объекта, но подробной информации найти так и не удалось. laughing.gif Хотя интуитивно скепсис по этому поводу присутствует.

Вот на рисунке что они измеряют? Либо не знают вообще излучающей способности объектов, либо направляют на те объекты, у которых она заранее известна (хотя на тех же фарфоровых изоляторах на улице она может измениться в зависимости от загрязнений, может только не существенно - я сказать по этому поводу ничего не могу).
rx3apf
Цитата(jam @ Feb 6 2010, 03:24) *
металлы конечно отражают - поэтому я и сделал трубочку из меди, пирометру при этом кроме меди и детальки ничего не видно.

Медь (если не полированная и старая) имеет весьма высокую степень черноты, алюминий гораздо лучше.
Цитата
У меня пирометр 1:50 (1.2 градуса).

Хм. Тут бы должно и диафрагмы хватить...
Цитата
Вобщето линзы делают из ZnSe , из германия или кремния.

Линзы на собственно датчике - да. А в широкоугольных пирометрах и PIR-датчиках - дальше стоит френелевская линза из полиэтилена, изогнутой пластиной или колпачком (у меня в термометре тоже стоит, хотя у него 1:5).
Tanya
Цитата(EUrry @ Feb 6 2010, 14:31) *
To Tanya:
Смазывать компонент ничем нельзя, т. к. отмывать потом надо будет, а это неприемлемо.

Можно смазывать слаболетучим - потом улетит.
Температуру по излучению измеряют двумя-тремя способами.
Один метод - сравнение излучения в двух-трех узких спектральных зонах. В предположении одинаковой спектральной черноты дает наилучший результат.
Второй - измеряется интегральное излучение в низкочастотном ИК-диапазоне. Тут требуется калибровка. Этот метод Вам, наверное, и нужно изучать.
rx3apf
Цитата(EUrry @ Feb 6 2010, 14:31) *
To Tanya:
Смазывать компонент ничем нельзя, т. к. отмывать потом надо будет, а это неприемлемо.

А вот при радиационном методе всё-таки надо калибровать на каждый цвет?

Не надо - в принципе, правильно было сказано, что для дальнего IR степень черноты довольно высока для большинства диэлектриков (однако пара материалов мне сразу пришла на ум, благо что и справочник под рукой). Если вдруг поверхность компонента металлическая - то по-любому надо зачернять, иначе бесконтактным методом воспользоваться не удастся. Ну и можно себе представить покрытие, которое тоже не обладает достаточной чернотой, и тоже придется красить. А без вариантов, так и придется делать. Контактный метод - это и термоинтерфейс потребуется, и теплоотбор будет по-любому, и 10-15 секунд - я что-то сильно сомневаюсь... А здесь - черный фломастер _может_ потребоваться, и к этому надо быть готовым и не отвергать принципиально, иначе, боюсь, задача вообще не имеет решения...
EUrry
Цитата(Tanya @ Feb 6 2010, 15:07) *
Один метод - сравнение излучения в двух-трех узких спектральных зонах. В предположении одинаковой спектральной черноты дает наилучший результат.

Из "достоверного" источника:
Цитата
Цветовые (другие названия: мультиспектральные, спектрального отношения) — позволяют делать вывод о температуре объекта, основываясь на результатах сравнения его теплового излучения в различных спектрах.

Это оно? Вот у меня домыслы именно про этот способ малозависимости от излучающей способности объекта, но ничем не подтвержденные.
Цитата(rx3apf @ Feb 6 2010, 15:14) *
иначе, боюсь, задача вообще не имеет решения...

Я в общем-то тоже именно этого боюсь.
Tanya
Цитата(EUrry @ Feb 6 2010, 15:27) *
Из "достоверного" источника:

Это оно? Вот у меня домыслы именно про этот способ малозависимости от излучающей способности объекта, но ничем не подтвержденные.

Таким методом обычно измеряют довольно высокие температуры.
Для просмотра полной версии этой страницы, пожалуйста, пройдите по ссылке.
Invision Power Board © 2001-2025 Invision Power Services, Inc.