Цитата(Microwatt @ Oct 21 2010, 15:41)

Я тоже на уровне подозрений...
лазером (теплом) ни в коем случае.
алмазом процарапать (стеклорез).
В классическом варианте делают канавки алмазной дисковой пилой на больших оборотах, потом пластина с подклееной снизу эластичной пленкой накладывается на слегка выпуклую сферическую поверхность и из промежутка между пластиной и сферой откачивают воздух. Под действием атмосферного давления пластина разламывается по подрезке. Пленку нагревают и растягивают. Между кристаллами получаются промежутки, которые позволяют брать вакуумной присоской по одному кристаллу не смещая остальные. Этим способом получают кристаллы с ровными краями. А если нужен криволинейный край, да еще и с отверстиями, то можно и лазером, но не простым.
Вот только денег стоит эта установка ...
http://www.synova.ch/pdf/102_Thin_wafers.pdf